تجهیزات موجود:

1- دستگاه صنعتی PVD به روش قوس کاتدی (تولید پوششهای سخت صنعتی)

2- دستگاه نیمه صنعتی کندوپاش مغناطیسی (تولید پوششهای سخت)

3- دستگاه نیمه صنعتی آبکاری الکتروشیمیایی (تولید پوششهای نانوبلوری)

4- دستگاه آزمایشگاه PVD شامل: تبخیر یونی، تبخیر حرارتی و کندوپاش

5- دستگاه آزمایشگاهی PVD شامل: کندوپاش DC و RF و نیز تبخیر حرارتی

 

 

دستگاه آزمایشگاهی:

PVDPVD